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儀表網 儀表會議】2019年4月25日和26日，上海市計量測試技術研究院材質中心理化室聯合
國際分析儀器巨頭安捷倫公司在上海和江蘇無錫舉辦了兩場“ICP-MS分析技術在半導體行業中的應用專題研討會”。參加此次研討會的單位既有中芯
國際、華力半導體等集成電路產業龍頭企業，又有諸如多氟多、晶瑞化學等新興民營電子化學品生產企業，與會人員近百人。
此次會議也是依托于上海市計量測試技術研究院的“上海市電子化學品計量檢測技術服務平臺”(以下簡稱“平臺”)的一項重要對外服務活動。會上上海市計量測試技術研究院技術人員介紹了“平臺”的功能和服務內容，分享了ICP-MS分析技術在集成電路產業應用的發展現狀。
安捷倫公司特邀其日本技術中心的專家介紹了其產品30年來在半導體行業應用中的技術革新及最新應用進展。研討會氣氛熱烈，得到了與會人員的一致好評。
近幾年，在
市場需求和國家政策的推動下，我國半導體集成電路產業正在經歷著前所未有的發展變革。隨著芯片制程工藝水平的不斷提升，對各類材料及化學品的品控要求近乎苛刻，雜質的檢測要求已達十億分之一的級別，對檢測方法和檢測設備都提出了全新的要求。
在此背景下，上海市計量測試技術研究院與安捷倫公司強強聯合，為上海及周邊地區的集成電路及電子化學品生產企業及研發機構，提供了一次很好的學習交流機會，共同探討了我國集成電路技術的發展和ICP-MS在半導體工業領域應用的技術革新和前沿發展成果。
(原文標題：我院與安捷倫公司聯合舉辦ICP-MS應用研討會)
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